熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝

真空爐出現于20世紀30年代前后。1927年美國制成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業上已用于熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年美國研制成油淬真空爐。

真空爐一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，真空爐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用途,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件,如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）

真空爐按結構分可分為立式及臥式兩種系列，立式系列又分為鐘罩升降式與底部托盤升降式兩種。臥式系列又分單開門結構與前后雙開門結構兩種。爐體均采用水冷夾壁結構。

加熱保溫室采用全金屬型及復合型兩種可供選擇，全金屬型采用耐熱不銹鋼與鉬屏組成；復合型采用耐熱不銹鋼、鉬屏與碳氈、莫來石纖維或硅酸鹽纖維組成。具體選擇取決于用戶的工藝條件和對工藝環境的要求。

加熱器有鎳鉻絲（帶）、鉬絲（帶、棒）、石墨等幾種類型，具體的選擇取決于用戶要求的最高溫度。加熱器分布方式有四面加熱型和全方位加熱兩種，確保用戶對爐內溫度均勻型的要求。

冷卻系統有羅茨鼓風機外循環結構、離心風機外循環結構、冷壁離心風機內循環結構等幾種類型，滿足不同降溫速度的要求。

抽真空系統有離子泵+渦輪分子泵+機械泵、渦輪分子泵+機械泵、擴散泵+羅茨泵+機械泵、羅茨泵+機械泵、低溫冷凝泵+機械泵等幾種類型，根據極限真空度指標選擇。

溫度控制采用進口智能溫控儀，能實現升溫、恒溫、降溫的自動控制功能；具有工藝曲線存儲功能，可存儲多條不同的工藝曲線；具有升降溫速度可調及準確的時鐘功能，可以同時顯示實際溫度和設定溫度等多種參數；具有PID參數自運算及掉電保護功能。

具有完善的報警及保護措施。

配有進口多點記錄儀，可記錄全部工藝過程的真空度、壓力、溫度等工藝曲線，便于工藝分析、質量監控及生產管理。

真空計可選用高可靠的進口數字智能真空計或國產質優的真空計，確保真空度與溫度控制連鎖，滿足工藝要求。

整個工藝過程控制采用進口可編程序控制器（PLC）完成，全部動作均采用連鎖保護，具有手動及自動兩種工作方式，用戶可以選擇全手動工作方式，也可以選擇工控機群控多臺的方式。